重生：指点老爸做寡头，我躺平了 14、 集全国之力，拉开光刻技术角逐战(2/2)
由空气改成液体。”
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“193nm的光经过折射后，等效波长为134nm，从而实现比F2光源更高的分辨率。”
“浸没式ArF的代表厂商是ASML和湾湾积体电路。由于F2光源无法穿透水，因此无法和浸没式技术相结合，进一步提升分辨率。ArF湿法在光刻精度上胜于F2。”
“以ArF浸没式为切入点，ASML成为DUV时代龙头。”
“2002年湾积电林本坚提出ArF浸没式方案，随后ASML在2003年成功推出第一台浸没式光刻样机。”
“尼康将也在明年会顺利推出ArF浸没式光刻机，但市场先机早已被ASML夺走。”
“伴随着ASML和湾湾积体电路ArF浸没式技术的成功，ASML和台积电实现了双赢。”
“在光刻机领域，ASML开始奋起反超尼康；湾积电也成为第一家实现ArF浸没式量产的公司。”
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来源：feilu
