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我的毕业设计是光刻机 第三章 连投20篇论文(2/2)

p>而种科院也不会提出要把亚墨利加的“卡脖子”清单变成攻坚清单,国家队都入场了,可想而知光刻机的研制有多么困难。

但是裘弘盛还是鬼使神差的点了进去,没办法,这标题取得太好了,就当是放松一下好了。

【半导体产业是高科技、信息化时代的支柱。光刻技术,作为半导体产业的核心技术之一,已成为世界各国科研人员的重点研究对象。本文综述了激光等离子体1-3nm极紫外光刻的原理和最新研究进展,重点介绍了其激光源、辐射靶材和多层膜反射镜等关键系统组成部分……】

顺着摘要往下看,原本抱着看笑话心态的裘弘盛脸上的表情慢慢变得严肃,然后变得震惊,最后变得激动起来。

他大学读的是京大物理系,研究生又读的水木大学的激光专业,自然能看得出来这片论文所要阐述的内容。

如果这篇论文所述的研究进展是真的话,那么,国家在光刻机光源上所遇到的问题将迎刃而解。

这篇论文,除了没有文献引用之外,其他的简直堪称完美。

而反过来说,因为没有文献引用,这篇论文又显得更加牛逼。

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