我的毕业设计是光刻机 第二章 不了，我要造光刻机(2/2)

3nm工艺的EUV光刻机技术图纸。

【论文库】：已开放。

【系统商城】：未开放。

【基础学科学习进度】：

【数学】：0.5%

【物理】：1.3%

【化学】：1.1%

【地质学】：1.3%

【天文学】：0.1%

【生物科学】：0.8%

【海洋科学】：2.1%

再次点开3nm工艺的EUV光刻机技术图纸，球状显示屏将自己的意识包裹，陈百川随意的点开了一张镜头零部件的技术图纸。

顿时，有关3nm工艺的EUV光刻机镜头零部件的各项数据和制造生产技术立刻便清晰的显现在了陈百川的面前。

内容详尽到怎么从野外寻找到制造镜头的材料然后一步步提炼加工成为一枚镜头，而在介绍的末尾，则是与之相关的论文。

陈颖川点开链接进入论文库，一篇篇原本不属于这个世界的论文便出现在了他的眼前：

1、亚微米i线和g线投影光刻物镜研制

2、光刻机镜头的结构设计与装配

3、光刻物镜光学零件制造

4、扫描电子束曝光机复合物镜的研究与设计

5、组合倍率极紫外光刻物镜系统梯度膜设计方法

6、1～2nm极紫外光刻物镜工程化设计

……

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